当前位置 >>  首页 >> 成果展示 >> 激光干涉仪

激光干涉仪

 立式激光干涉仪

发布时间:2024-02-08

一、产品简介

    面向光学平行平板、光学窗口等超精密光学元件面形检测需求,基于短相干激光光源与全视场外差移相技术,实现平面光学元件面形、光学系统波前等高精度测量,用于平面光学计量、集成电路制造、光学超精密检测等领域。

二、主要技术指标:
   1.移相频率:2Hz/5Hz/10Hz/20Hz(根据环境振动要求选配);
   2.测量口径:100mm/150mm/300mm等系列;
   3.平面面形测量精度PV:优于λ/20;
   4.RMS简单重复性:优于λ/10000;
   5.RMS波前重复性:优于λ/1800。

三、如需了解更多信息,可联系:张老师,010-82177821,kty11b@aircas.ac.cn。

附件: