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激光干涉仪

 高精度激光干涉仪

发布时间:2024-02-08


一、产品简介
    采用高性能短相干激光光源、高精度电子移相和高性能散斑匀化等技术,实现光学元件面形、光学系统波前等纳米级精密测量,用于国家平面计量基准、高端光学设备开发等领域

二、主要技术指标:
   1.移相频率:2Hz/5Hz/10Hz/20Hz(根据环境振动要求选配);
   2.测量口径:100mm/150mm/300mm等系列;
   3. PV面形测量精度:优于λ/20;
   4. RMS简单重复性:优于λ/10000;
   5.可测最小平行平板厚度:0.2mm;
   6.可选配球面测量标准镜:F0.7-F10,精度PV优于λ/20。

三、如需了解更多信息,可联系:张老师,010-82177821,kty11b@aircas.ac.cn。


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