非球面面形测量仪

一、产品简介
    采用短相干外差干涉测量和环带子孔径扫描拼接技术，结合多路测距干涉仪工件台位姿计算方法、像差消除及面形拼接算法，实现不同口径和非球面度的旋转对称非球面光学元件的高精度面形测量。

二、主要技术指标：
   1.通光口径：≥150mm；
   2.最大偏离比较球距离：800μm；
   3.PV面形测量精度：优于λ/10@633nm；
   4.RMS简单重复性：优于1nm。

三、如需了解更多信息，可联系：张老师，010-82177821，kty11b@aircas.ac.cn。