形貌显微激光测振仪

一、产品简介
   面向集成电路、微机电系统等领域的三维形貌和振动特性测量需求，采用激光外差干涉技术，频闪面内振动测量技术和白光干涉形貌测量技术，实现微结构的形貌和振型的一体化测量。

二、主要功能技术指标：
   1.三维形貌测量、面外振动测量、面内振动测量等功能；
   2.面外振动测量频率范围：DC~25MHz，分15档；
   3.面外位移分辨率：优于30fm/Hz^1/2；
   4.面内振动测量频率范围：DC~2.5MHz；
   5.面内位移分辨率：优于5nm；
   6.形貌垂直测量范围：0~250μm；
   7.形貌垂直测量分辨率：优于45pm。

三、如需了解更多信息，可联系：张老师，010-82177821，kty11b@aircas.ac.cn。